Use of near field scanning optical microscopy (NSOM) to characterize optical channel waveguide structures

被引：4

作者：

Naghski, DH ^{[1
]}

Lindsay, SM ^{[1
]}

Poweleit, CD ^{[1
]}

DeBrabander, GN ^{[1
]}

Subramaniam, V ^{[1
]}

Jackson, HE ^{[1
]}

Boyd, JT ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CINCINNATI,DEPT ELECT & COMP ENGN,CINCINNATI,OH 45221

来源：

INTEGRATED OPTICS AND MICROSTRUCTURES III | 1996年 / 2686卷

关键词：

optical channel waveguide; directional coupler; Y-junction; silicon nitride; AlGaAs; NSOM; BPM; shear force microscopy;

D O I：

10.1117/12.236142

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：9