Debrisless laser-produced x-ray source with a gas puff target

被引：17

作者：

Fiedorowicz, H ^{[1
]}

Bartnik, A ^{[1
]}

Kostecki, J ^{[1
]}

Szczurek, M ^{[1
]}

机构：

[1] MIL UNIV TECHNOL,INST OPTOELECT,PL-01489 WARSAW,POLAND

来源：

ELECTRON-BEAM, X-RAY, EUV, AND ION-BEAM SUBMICROMETER LITHOGRAPHIES FOR MANUFACTURING VI | 1996年 / 2723卷

关键词：

x-rays; laser-produced x-ray source; laser plasma; gas puff target;

D O I：

10.1117/12.240482

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：7