Microoptomechanical devices: An electrostatically actuated bending waveguide for optical coupling

被引：1

作者：

Chollet, F ^{[1
]}

deLabachelerie, M ^{[1
]}

Fujita, H ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV TOKYO,IIS,CNRS,LIMMS,MINATO KU,TOKYO 106,JAPAN

来源：

MICRO-OPTICAL TECHNOLOGIES FOR MEASUREMENT, SENSORS, AND MICROSYSTEMS | 1996年 / 2783卷

关键词：

optical MEMS; MOMS; optical switch; optical coupling; electromechanical actuator; 3D optical interconnection; LPCVD oxynitride;

D O I：

10.1117/12.248485

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：11