Micromachined polymer magnets

被引:11
作者
Lagorce, LK [1 ]
Allen, MG [1 ]
机构
[1] GEORGIA INST TECHNOL,MICROELECTR RES CTR,ATLANTA,GA 30332
来源
NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年
关键词
D O I
10.1109/MEMSYS.1996.493834
中图分类号
TP [自动化技术、计算机技术];
学科分类号
0812 ;
摘要
引用
收藏
页码:85 / 90
页数:6
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