1999 E-MRS Spring Meeting Symposium L: Ab initio approaches to microelectronics materials and process modelling - Preface

被引：67

作者：

Greer, J ^{[1
]}

机构：

[1] NMRC, Cork, Ireland

来源：

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING | 2000年 / 3卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/S1369-8001(00)00003-2

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

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