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Room temperature operation of Si single-electron memory with self-aligned floating dot gate
被引:18
作者
:
Nakajima, A
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Nakajima, A
Futatsugi, T
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Futatsugi, T
Kosemura, K
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Kosemura, K
Fukano, T
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Fukano, T
Yokoyama, N
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Yokoyama, N
机构
:
来源
:
IEDM - INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING, TECHNICAL DIGEST 1996
|
1996年
关键词
:
D O I
:
10.1109/IEDM.1996.554140
中图分类号
:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
:
0808 ;
0809 ;
摘要
:
引用
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页码:952 / 954
页数:3
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