Measurement capabilities of optical 3D-sensors for MST applications

被引：9

作者：

Brand, U ^{[1
]}

Flugge, J ^{[1
]}

机构：

[1] Phys Tech Bundesanstalt, D-38116 Braunschweig, Germany

来源：

MICROELECTRONIC ENGINEERING | 1998年 / 42卷

关键词：

D O I：

10.1016/S0167-9317(98)00146-4

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

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页码：623 / 626

页数：4

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共 1 条

[1]

Hillmann W., 1996, Measurement, V19, P95, DOI 10.1016/S0263-2241(96)00069-3