Packaging and qualification of MEMS-based space systems

被引：6

作者：

Muller, L ^{[1
]}

Hecht, MH ^{[1
]}

Miller, LM ^{[1
]}

Rockstad, HK ^{[1
]}

Lyke, JC ^{[1
]}

机构：

[1] CALTECH,JET PROP LAB,CTR SPACE MICROELECTR TECHNOL,PASADENA,CA 91109

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.494033

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：503 / 508

页数：6