Determination of the resolution in scanning near-field optical images with the help of shear force feedback

被引：1

作者：

Barchiesi, D ^{[1
]}

Pieralli, C ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV FRANCHE COMTE,LAB OPT PM DUFFIEUX,CNRS URA 214,F-25030 BESANCON,FRANCE

来源：

OPTICAL INSPECTION AND MICROMEASUREMENTS | 1996年 / 2782卷

关键词：

D O I：

10.1117/12.250782

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：535 / 543

页数：9