AFM with piezoresistive Wheatstone bridge cantilever - Noise performances and applications in contact and noncontact mode

被引：12

作者：

Gotszalk, T ^{[1
]}

Linnemann, R ^{[1
]}

Rangelow, IW ^{[1
]}

Dumania, P ^{[1
]}

Grabiec, P ^{[1
]}

机构：

[1] WROCLAW TECH UNIV,INST ELECTRON TECHNOL,PL-54315 WROCLAW,POLAND

来源：

METAL/NONMETAL MICROSYSTEMS: PHYSICS, TECHNOLOGY, AND APPLICATIONS | 1996年 / 2780卷

关键词：

scanning probe microscopy; atomic force microscopy; topography measurements; piezoresistive effect;

D O I：

10.1117/12.238192

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页数：4