General hierarchical approach in absolute phase measurement

被引：36

作者：

Osten, W ^{[1
]}

Nadeborn, W ^{[1
]}

Andra, P ^{[1
]}

机构：

[1] BREMEN INST APPL BEAM TECHNOL,D-28359 BREMEN,GERMANY

来源：

LASER INTERFEROMETRY VIII: TECHNIQUES AND ANALYSIS | 1996年 / 2860卷

关键词：

optical metrology; shape measurement; displacement measurement; fringe processing; absolute phase measurement;

D O I：

10.1117/12.276292

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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