Fabrication of silicon optical scanner for laser display

被引：266

作者：

Lee, JH ^{[1
]}

Ko, YC ^{[1
]}

Kong, DH ^{[1
]}

Kim, JM ^{[1
]}

Lee, KB ^{[1
]}

Jeon, DY ^{[1
]}

机构：

[1] Samsung Adv Inst Technol, Display Lab, Suwon 440600, South Korea

来源：

2000 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS | 2000年

关键词：

D O I：

10.1109/OMEMS.2000.879604

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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