A pure CMOS surface micromachined integrated accelerometer

被引：24

作者：

Hierold, C ^{[1
]}

Hildebrandt, A ^{[1
]}

Naher, U ^{[1
]}

Scheiter, T ^{[1
]}

Mensching, B ^{[1
]}

Steger, M ^{[1
]}

Tielert, R ^{[1
]}

机构：

[1] SIEMENS AG,CORP RES & DEV,D-81730 MUNICH,GERMANY

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493849

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：174 / 179

页数：6