Micromachined silicon fuel atomizers for gas turbine engines

被引：8

作者：

Singh, A ^{[1
]}

Mehregany, M ^{[1
]}

Phillips, SM ^{[1
]}

Harvey, RJ ^{[1
]}

Benjamin, M ^{[1
]}

机构：

[1] CASE WESTERN RESERVE UNIV,CLEVELAND,OH 44106

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.494028

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：473 / 478

页数：6