New olefinic interlevel dielectric materials for multi-chip modules

被引:2
作者
Shick, RA [1 ]
Goodall, BL [1 ]
McIntosh, LH [1 ]
Jayaraman, S [1 ]
Kohl, PA [1 ]
BidstrupAllen, SA [1 ]
Grove, NR [1 ]
机构
[1] BF GOODRICH CO,ADV TECHNOL GRP,BRECKSVILLE,OH 44141
来源
1996 IEEE MULTI-CHIP MODULE CONFERENCE, PROCEEDINGS | 1996年
关键词
D O I
10.1109/MCMC.1996.510792
中图分类号
TP3 [计算技术、计算机技术];
学科分类号
0812 ;
摘要
引用
收藏
页码:182 / 187
页数:6
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