Force measurements of polysilicon thermal micro-actuators

被引：35

作者：

Reid, JR ^{[1
]}

Bright, VM ^{[1
]}

Comtois, JH ^{[1
]}

机构：

[1] USAF,INST TECHNOL,DEPT ELECT & COMP ENGN,WRIGHT PATTERSON AFB,OH 45433

来源：

MICROMACHINED DEVICES AND COMPONENTS II | 1996年 / 2882卷

关键词：

micro-electro-mechanical systems; actuators; micromachining;

D O I：

10.1117/12.250716

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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