Micro ultrasonic machining and self-aligned multilayer machining assembly technologies for 3D micromachines

被引：25

作者：

Sun, XQ ^{[1
]}

Masuzawa, T ^{[1
]}

Fujino, M ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV TOKYO,IIS,MINATO KU,TOKYO 106,JAPAN

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.494000

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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页数：6