Micromachined, uncooled, VO2-based, IR bolometer-arrays

被引：64

作者：

Jerominek, H ^{[1
]}

Picard, F ^{[1
]}

Swart, NR ^{[1
]}

Renaud, M ^{[1
]}

Levesque, M ^{[1
]}

Lehoux, M ^{[1
]}

Castonguay, JS ^{[1
]}

Pelletier, M ^{[1
]}

Bilodeau, G ^{[1
]}

Audet, D ^{[1
]}

Pope, TD ^{[1
]}

Lambert, P ^{[1
]}

机构：

[1] NATL OPT INST,ST FOY,PQ G1P 4N8,CANADA

来源：

INFRARED DETECTORS AND FOCAL PLANE ARRAYS IV | 1996年 / 2746卷

关键词：

detector; bolometer; uncooled; infrared; micromachining; vanadium oxide;

D O I：

10.1117/12.243056

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：12