Analytical techniques for examining reliability and failure mechanisms of barrier coating encapsulated silicon pressure sensors exposed to harsh media

被引：18

作者：

Bitko, G ^{[1
]}

Monk, DJ ^{[1
]}

Maudie, T ^{[1
]}

Stanerson, D ^{[1
]}

机构：

[1] MOTOROLA INC,SENSOR PROD DIV,SEMICOND PROD SECTOR,PHOENIX,AZ 85008

来源：

MICROMACHINED DEVICES AND COMPONENTS II | 1996年 / 2882卷

关键词：

media compatibility; pressure sensors; failure mechanisms; corrosion; barrier coatings;

D O I：

10.1117/12.250710

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：11