A new electrode technology for high-density nonvolatile ferroelectric (SrBi2Ta2O9) memories

被引:2
作者
Jiang, B [1 ]
Balu, V [1 ]
Chen, TS [1 ]
Kuah, SH [1 ]
Lee, JC [1 ]
Chu, PY [1 ]
Jones, RE [1 ]
Zurcher, P [1 ]
Taylor, DJ [1 ]
Kottke, ML [1 ]
Gillespie, SJ [1 ]
机构
[1] UNIV TEXAS,MICROELECTR RES CTR,AUSTIN,TX 78712
来源
1996 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY: DIGEST OF TECHNICAL PAPERS | 1996年
关键词
D O I
10.1109/VLSIT.1996.507780
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:26 / 27
页数:2
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