SUZANA: A 3D CAD tool for anisotropically etched silicon microstructures

被引：10

作者：

Buttgenbach, S ^{[1
]}

Than, O ^{[1
]}

机构：

[1] TECH UNIV CAROLO WILHELMINA BRAUNSCHWEIG,INST MICROTECHNOL,D-38106 BRAUNSCHWEIG,GERMANY

来源：

EUROPEAN DESIGN & TEST CONFERENCE 1996 - ED&TC 96, PROCEEDINGS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/EDTC.1996.494340

中图分类号：

TP3 [计算技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：454 / 458

页数：5