Water re-absorption into hygroscopic film in interlayer dielectrics and its impact on hot-carrier immunity

被引：4

作者：

Ikeda, K ^{[1
]}

Okazaki, Y ^{[1
]}

Nakayama, S ^{[1
]}

Tsuchiya, T ^{[1
]}

机构：

[1] NIPPON TELEGRAPH & TEL PUBL CORP, LSI LABS, ATSUGI, KANAGAWA 24301, JAPAN

来源：

1996 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY: DIGEST OF TECHNICAL PAPERS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/VLSIT.1996.507815

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：116 / 117

页数：2