Nanometre precision mechanisms

被引：7

作者：

Atherton, PD

机构：

来源：

MEASUREMENT & CONTROL | 1998年 / 31卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1177/002029409803100202

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

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页码：37 / 42

页数：6

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共 3 条

[1]

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