Properties of new low dielectric constant spin-on silicon oxide based polymers

被引：26

作者：

Hacker, NP ^{[1
]}

Davis, G ^{[1
]}

Figge, L ^{[1
]}

Krajewski, T ^{[1
]}

Lefferts, S ^{[1
]}

Nedbal, J ^{[1
]}

Spear, R ^{[1
]}

机构：

[1] AlliedSignal, Adv Microelect Mat, Santa Clara, CA 95054 USA

来源：

LOW-DIELECTRIC CONSTANT MATERIALS III | 1997年 / 476卷

关键词：

D O I：

10.1557/PROC-476-25

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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