Suspended YBaCuO microstructures on CeO2/YSZ membranes for sensitive bolometers

被引：1

作者：

Mechin, L ^{[1
]}

Villegier, JC ^{[1
]}

Bloyet, D ^{[1
]}

机构：

[1] CEA GRENOBLE,LCP,SPSMS,DEPT RECH FONDAMENTALE MAT CONDENSEE,F-38074 GRENOBLE 09,FRANCE

来源：

PHOTODETECTORS: MATERIALS AND DEVICES | 1996年 / 2685卷

关键词：

IR bolometer; YBaCuO; high-Tc superconductors; silicon micromachining; SIMOX; RIE; suspended microstructures; self heating;

D O I：

10.1117/12.237704

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：8