Design optimization & improved performance on the link beam driven, miniaturized scanning mirror device

被引：6

作者：

Konno, N ^{[1
]}

Tsugai, M ^{[1
]}

Yoshikawa, E ^{[1
]}

Usami, T ^{[1
]}

Fujita, H ^{[1
]}

机构：

[1] Mitsubishi Elect Corp, Ind Elect & Syst Lab, Amagasaki, Hyogo 6618661, Japan

来源：

2000 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS | 2000年

关键词：

D O I：

10.1109/OMEMS.2000.879603

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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