Investigation of computer-generated diffractive beam-shapers for the task of Gauss-to-Ring laser-beam transformation

被引：1

作者：

Duparre, M ^{[1
]}

Ludge, B ^{[1
]}

Kowarschik, R ^{[1
]}

Golub, MA ^{[1
]}

Kley, EB ^{[1
]}

Fuchs, HJ ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV JENA,INST APPL OPT,D-07743 JENA,GERMANY

来源：

DIFFRACTIVE AND HOLOGRAPHIC OPTICS TECHNOLOGY III | 1996年 / 2689卷

关键词：

diffractive optics; ray-tracing; electron-beam lithography; Gauss-to-Ring beam former; measurement of intensity patterns; computer modeling;

D O I：

10.1117/12.239615

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：8