THE OXIDATION OF SILICON IN DRY OXYGEN, WET OXYGEN AND STEAM SUPPLEMENTARY DATA

被引：13

作者：

DEAL, BE

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1963年 / 110卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2425655

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：1292 / 1293

页数：2

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共 2 条

[1]

REVESZ AG, UNPUB RCA REV

[2]

REVESZ AG, 1963, SEP C OPT SOL THIN F