APPLICATIONS OF HEAVY-ION RUTHERFORD BACKSCATTERING SPECTROMETRY (HIRBS) TO THE ANALYSIS OF CONTACT STRUCTURES ON GAAS AND GE

被引：16

作者：

YU, KM ^{[1
]}

JAKLEVIC, JM ^{[1
]}

HALLER, EE ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF BERKELEY,BERKELEY,CA 94720

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(85)90318-0

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：606 / 610

页数：5

共 6 条

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