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AN IMPROVED OPTICAL-LEVER TECHNIQUE FOR MEASURING FILM STRESS
被引：15
作者：
AOKI, T
NISHIKAWA, Y
KATO, S
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS
|
1989年
/
28卷
/
02期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.28.299
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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页码：299 / 300
页数：2
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