DIGITAL QUARTZ DEPOSITION MONITOR USING A MICROPROCESSOR

被引：7

作者：

HAMMER, D

BENES, E

PULKER, HK

机构：

[1] TECH UNIV VIENNA,INST ALLGEMEINE PHYS,KARLSPLATZ 13,A-1040 VIENNA,AUSTRIA

[2] BALZERS AG HOCHVAKUUM TECH & DUNNE SCHICHTEN,GRUNDLAGENENTWICKLUNG,FL9496 BALZERS,LIECHTENSTEIN

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(76)90552-6

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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