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INTERACTION OF THIN GOLD-FILMS WITH GAP DURING HEAT-TREATMENT IN A VACUUM
被引:3
作者
:
MALINA, V
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MALINA, V
SROUBEK, Z
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SROUBEK, Z
MOJZES, I
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MOJZES, I
VERESEGYHAZY, R
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VERESEGYHAZY, R
PECZ, B
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PECZ, B
机构
:
来源
:
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY
|
1987年
/ 2卷
/ 07期
关键词
:
D O I
:
10.1088/0268-1242/2/7/006
中图分类号
:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
:
0808 ;
0809 ;
摘要
:
引用
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页码:428 / 436
页数:9
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