COMPACT VAPOR-DEPOSITION SYSTEM

被引：1

作者：

MUSKET, RG ^{[1
]}

PENDLEY, MH ^{[1
]}

机构：

[1] SANDIA LABS,LIVERMORE,CA 94550

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1977年 / 14卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569317

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页数：2