HETEROGENEOUS DECOMPOSITION OF SILANE IN A FIXED-BED REACTOR

被引：56

作者：

IYA, SK

FLAGELLA, RN

DIPAOLO, FS

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2124200

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 [应用化学];

摘要：

引用

页码：1531 / 1535

页数：5

共 6 条

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