CHARACTERIZATION OF THE TREATED SURFACES OF SILICON ALLOYED PYROLYTIC CARBON AND SIC

被引:164
作者
SMITH, KL [1 ]
BLACK, KM [1 ]
机构
[1] ST JUDE MED INC,ST PAUL,MN 55117
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1984年 / 2卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.572562
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页数:4
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