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OPTIMUM DESIGN CONSIDERATIONS FOR SILICON PRESSURE SENSORS USING A 4-TERMINAL GAUGE
被引：29
作者：
KANDA, Y
机构：
来源：
SENSORS AND ACTUATORS
|
1983年
/
4卷
/
02期
关键词：
D O I：
10.1016/0250-6874(83)85025-2
中图分类号：
O65 [分析化学];
学科分类号：
070302 ;
081704 ;
摘要：
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页码：199 / 206
页数：8
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