共 4 条
- [1] APPLICATIONS OF ION-IMPLANTATION IN METALS[J]. THIN SOLID FILMS, 1983, 107 (03) : 315 - 326DEARNALEY, G
- [2] HIRVONEN JK, 1983, P MRS S ION IMPLANTA
- [3] ECS80 INSTALLATION U
- [4] FIG FORTH INSTALLATI
A VERSATILE TARGET CHAMBER IN AN ION IMPLANTER FOR METALLURGICAL RESEARCH
被引：1
作者：
LAZZARI, G
MARGESIN, B
SCOTONI, I
ZANINI, V
机构：
来源：
关键词：
D O I：
10.1016/0168-583X(85)90635-4
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要：
引用
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页码：210 / 213
页数：4
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