SURFACE ENRICHMENT OF IN IN EVAPORATED AU-IN FILMS

被引：26

作者：

THOMAS, S ^{[1
]}

机构：

[1] MOTOROLA INC,SEMICONDUCT PROD DIV,SEMICOND ANAL LAB,5005 E MCDOWELLRD,PHOENIX,AZ 85008

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1654987

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页数：3

共 5 条

BOUWMAN, R ;

SACHTLER, WM ;

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PALMBERG PW, 1972, ELECTRON SPECTROSCOP

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