共 6 条
- [1] BRANSON DG, 1963, STRUCTURE FIELD EVAP, P1
- [2] HANSEN M, 1958, CONSTITUTION BINARY, P232
- [3] MOFFETT WG, 1977, HDB BINARY PHASE DIA
- [5] WANG V, 1980, 9TH INT C EL ION BEA
- [6] WYSOCKI JA, 1979, COMMUNICATION
A MASS-SEPARATING FOCUSED-ION-BEAM SYSTEM FOR MASKLESS ION-IMPLANTATION
被引：99
作者：
WANG, V
WARD, JW
SELIGER, RL
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY
|
1981年
/
19卷
/
04期
关键词：
D O I：
10.1116/1.571234
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：1158 / 1163
页数：6
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