ON THE INFLUENCE OF IMPURITIES ON THE HIGH-TEMPERATURE SPUTTERING YIELD OF GRAPHITE

被引:56
作者
ROTH, J [1 ]
BOHDANSKY, J [1 ]
ROBERTO, JB [1 ]
机构
[1] OAK RIDGE NATL LAB,OAK RIDGE,TN 37830
关键词
D O I
10.1016/0022-3115(84)90406-9
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:534 / 539
页数:6
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