ZERO STABILITY OF SPINNING ROTOR VACUUM GAUGES

被引:29
作者
MCCULLOH, KE
WOOD, SD
TILFORD, CR
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1985年 / 3卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.573010
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:1738 / 1741
页数:4
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