共 6 条
- [1] DOMENICI M, 1984, ASTM STP, V850
- [2] GRAFF K, 1983, TRANSITION METAL IMP
- [3] LANG DV, 1974, J APPL PHYS, V45, P7
- [4] MAY S, ANAL ACTIVATION NEUT
- [5] PEARCE CW, 1983, DEFECT CONTAMINATION
PURIFICATION AND IMPURITY DETECTION IN SILICON FOR MICROELECTRONICS
被引：1
作者：
DOMENICI, M
MALINVERNI, P
PEDROTTI, M
机构：
关键词：
D O I：
10.1016/0022-0248(86)90227-7
中图分类号：
O7 [晶体学];
学科分类号：
0702 ;
070205 ;
0703 ;
080501 ;
摘要：
引用
收藏
页码：80 / 87
页数：8
相关论文