SPUTTER PARAMETERS AND MAGNETIC-PROPERTIES OF PERMALLOY FOR THIN-FILM HEADS

被引：9

作者：

KRUSCH, K

机构：

[1] Siemens AG, Munich, West Ger, Siemens AG, Munich, West Ger

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/TMAG.1986.1064586

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：626 / 628

页数：3

共 6 条

[1] DOMAIN EFFECTS IN THE THIN-FILM HEAD [J].

JONES, RE .

METZDORF, W .

NARISHIGE, S ;

HANAZONO, M ;

TAKAGI, M ;

KUWATSUKA, S .

NEEL, L .

JOURNAL DE PHYSIQUE ET LE RADIUM, 1954, 15 (04) :225-239

[5] MAGNETRON SPUTTERING OF PERMALLOY FOR THIN-FILM HEADS [J].

POTZLBERGER, HW .

[6] PATTERNING EFFECT ON EASY AXIS ALIGNMENT IN PERMALLOY THIN-FILM [J].

SHIROISHI, Y ;

SHIIKI, K ;

YUITOO, I ;

TANABE, H ;

FUJIWARA, H ;

KUDO, M .