REPLICATION OF 0.1-MUM GEOMETRIES WITH X-RAY LITHOGRAPHY

被引：48

作者：

FEDER, R ^{[1
]}

SPILLER, E ^{[1
]}

TOPALIAN, J ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568532

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1332 / 1335

页数：4

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共 6 条

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SPILLER E, TO BE PUBLISHED