STUDY OF RF MAGNETRON-SPUTTERED MOSE2 FILMS BY ELECTRON-SPECTROSCOPY FOR CHEMICAL-ANALYSIS

被引：22

作者：

BICHSEL, R ^{[1
]}

LEVY, F ^{[1
]}

MATHIEU, HJ ^{[1
]}

机构：

[1] ECOLE POLYTECH FED LAUSANNE,MET CHIM LAB,CH-1007 LAUSANNE,SWITZERLAND

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(85)90377-3

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：87 / 94

页数：8

共 6 条

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