LASER WRITING OF MASKS FOR INTEGRATED OPTICAL CIRCUITS

被引：11

作者：

WILSON, KE

MUELLER, CT

GARMIRE, EM

机构：

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS HYBRIDS AND MANUFACTURING TECHNOLOGY | 1982年 / 5卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1109/TCHMT.1982.1135970

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：202 / 204

页数：3