MULTILAYER PIEZOELECTRIC CERAMIC ACTUATOR WITH VARYING THICKNESS LAYERS

被引：9

作者：

TAKAHASHI, S ^{[1
]}

YANO, T ^{[1
]}

FUKUI, I ^{[1
]}

SATO, E ^{[1
]}

机构：

[1] NEC CORP,DIV TRANSMISS,KAWASAKI,KANAGAWA 213,JAPAN

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1985年 / 24卷

关键词：

D O I：

10.7567/JJAPS.24S3.206

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：206 / 208

页数：3