PREPARATION OF PLZT THIN-FILMS BY RF SPUTTERING

被引：17

作者：

MATSUNAMI, H ^{[1
]}

SUZUKI, M ^{[1
]}

ISHIDA, M ^{[1
]}

TANAKA, T ^{[1
]}

机构：

[1] KYOTO UNIV,FAC ENGN,DEPT ELECTR,SAKYO KU,KYOTO 606,JAPAN

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1976年 / 15卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.15.1163

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1163 / 1164

页数：2

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