INFLUENCE OF GAS-FLOW DIRECTION ON DC GLOW-DISCHARGE DEPOSITED A-SI FILMS

被引：3

作者：

KOCIAN, P

BUGMANN, G

ERNI, D

BOURQUARD, S

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3093(83)90261-2

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：675 / 678

页数：4

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共 5 条

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