DEFECT DYNAMICS AND WEAR-OUT IN THIN SILICON-OXIDES

被引:42
作者
FARMER, KR
BUHRMAN, RA
机构
关键词
D O I
10.1088/0268-1242/4/12/011
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:1084 / 1105
页数:22
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